真空系統配置 | 分(fēn)子泵系統或擴散泵系統、粗抽機組、維持泵等組成 |
控制系統 | 全自動+手動系統 |
參數存儲 | 可(kě)對(duì)鍍膜機運行當中的(de)工藝參數實時(shí)地進行采集和(hé)存儲,鍍膜機使用(yòng)者可(kě)以對(duì)曆史記錄(如靶功率、靶電流、靶電壓、氣體流量、真空室壓強、溫度等)進行翻閱、查找,以進行數據分(fēn)析和(hé)工藝改進。 |
其它功能 | 異常報警、故障報警、故障自檢提示等功能,最大(dà)限度地保障鍍膜機的(de)運行安全和(hé)操作者的(de)人(rén)身安全;采用(yòng)北(běi)京質量流量控制單元或選配MKS流量計控制單元 |
驅動及工件轉動系統 | 變頻(pín)器控制,設置快(kuài)慢(màn)轉,可(kě)配腳踏開關(用(yòng)于裝卸件);三菱E700型變頻(pín)器、三相異步電機、減速機、邊傳動,自轉杆 |
濺射靶系統 | 陰極電弧、逆變式弧電源等;濺射靶(圓柱孿生靶、平面靶),中頻(pín)電源、偏壓電源等 |
截流閥系統 | 電動截流擋闆0~90°任意角度可(kě)調。 |
适合在各種金屬上鍍各種顔色:钛金、玫瑰金、黃(huáng)金色、槍黑(hēi)色、藍色等。也(yě)融合了(le)國内外系統配套廠家的(de)先進産品,并針對(duì)性地滿足客戶在技術上的(de)述求。