真空室形式 | 真空室形式爲分(fēn)體式結構 |
箱體尺寸 | 箱式前開門、内腔尺寸約Φ550×620mm,SUS304材料 |
極限真空 | 3.0×10-4Pa |
恢複真空度 | 大(dà)氣→3×10-3Pa≤15min |
真空系統配置 | 分(fēn)子泵、直聯泵、閥門及管道 |
真空系統測量 | 數字顯示自動真空測量儀(電阻規+金屬電離規) |
系統操作(觸摸屏) | 自動PLC/手動 |
上、下(xià)機票(piào)設計爲自動定位,上片自動夾持 | |
蒸發源 | 電阻蒸發源及其他(tā)相關件組成 |
該設備專門爲晶體行業設計及制造,用(yòng)于各類晶體在高(gāo)真空狀态下(xià)的(de)壓封及組合(真空壓合),可(kě)一次性完成鍍膜-壓封,将兩片晶體緊密地粘接;真空系統采用(yòng)分(fēn)子泵+直聯泵。